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业务领域

我司依托真空技术、热技术与自动化技术等核心技术，开展二次电池、太阳能、显示器/清洁运输、工厂自动化、机器人技术等项目，
并围绕高附加值项目进一步延伸产品组合、打开国外市场、研发最前沿设备、加强生产及SW实力，从而成为全球综合工序设备及智能方案的领航者。

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太阳能

太阳能

基于太阳能电池板加工工序装备的核心技术——真空蒸镀技术，制造太阳能电池板、模板领域的专业设备，
拥有高品质、高效率的组/模块制造设备的一站式项目执行能力。

  • PECVD (SiNx)
    PECVD (SiNx)
    是一种旨在提高结晶质太阳能电池效率，最大限度降低反射在wafer前面上的光，形成抗反射涂层(Anti-Reflective SiNx)的设备。

    规格

    • 高产量: 6,776 wafers/hr (640 wafers/boat)
    • 循环时间: 34 min
    • 运行时间: 97%
  • T-AlOx (AlOx + SiNx)
    T-AlOx (AlOx + SiNx)
    是一种将旨在提高结晶质太阳能电池的效率，改善wafer背面重组率，将穿透wafer背面的光最小化，增加反射的AIOx和SiNx层，在一次工序中形成的设备。

    规格

    • 高产量: 5,485 wafers/hr (640 wafers/boat)
    • 循环时间: 42 min
    • 运行时间: 97%
  • T-aSi (Oxidation + a-Si)
    T-aSi (Oxidation + a-Si)
    是一种改善结晶质太阳能电池的wafer背面接触部的重组率，使电子选择性捕集的OXide层和加填料Si层在一次工序中形成，提高太阳能电池效率的设备。

    规格

    • 高产量: 4,702 wafers/hr (640 wafers/boat)
    • 循环时间: 49 min
    • 运行时间: 97%
  • ALD (AlOx)
    ALD (AlOx)
    采用热单原子层沉积(Thermal ALD)方式在晶质太阳电池晶圆正面蒸镀 Al2O3薄膜，形成保护层(Passivation Layer)，从而进一步改善效率的设备

    规格

    • 高通量：12,800片/小时 (1,600片/舟)
    • 周期：30分
    • 运行时间：97%
  • 扩散炉(Diffusion Furnace-LP)
    扩散炉(Diffusion Furnace-LP)
    是一种旨在形成结晶质硅太阳能电池的核心——Pn接合的设备，基于同一平台，实现P(因)加填料及B(硼)加填料的工序。

    规格

    POCl₃
    • 高产量: 7,854 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
    • 循环时间: 110 min
    • 运行时间: 99%
    BBr₃
    • 高产量: 3,600 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
    • 循环时间: 240 min
    • 运行时间: 99%
  • 氧化炉(Oxidation Furnace-LP)
    氧化炉(Oxidation Furnace-LP)
    是一种去除边缘隔离(Edge isolation)及PSG后,在硅片表面形成钝化层 (passivation)膜,提升组效率的设备。

    规格

    • 高产量: 14,400 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
    • 循环时间：60 min
    • 运行时间：99%
  • 自动制表机
    自动制表机
    以全自动高速制表机(Tabbing machine)每小时最大可生产3,600cell，其特点是，采用高频焊接方式 降低了电池片破损率，轻松应对适用各种规格Cell的Module生产线。

    规格

    • Throughput : 3,600cell/hr
    • Breakage Rate of Cells ≤ 0.3%
    • Equipment Operational Rate ≥ 95%
    • Cell Spec : Available 5”, 6” Cell, 3,4,6 and multi bus bar
    • Cells Interval Between Strings : 0~5mm Adjustable
    • String of 8 to 12cells
    • IR Lamp Type Soldering
    • Equipment Size(mm) : 7,500L x 2,000W x 2,560H
  • 压膜机 压膜机
    压膜机
    通过真空压力和热处理过程，稳定化构成太阳能 组件的Glass、EV Sheet、Solar Cell、Back Sheet Layer的设备。

    规格

    • Low-cost, high-efficiency, and high-productivity (3 & 4step Laminator)
    • Yield ≥ 99.8%
    • Uptime ≥ 98%
    • M10 120/132/144/156HC
    • M12 110/120/150/160HC
  • Automation
    Automation
    作为有效利用人员、空间从而极大化生产性的系统，拥有以经济形式反映自动和手动作业性的Semi-Auto 方式和将大部分工艺自动化的Full-auto方式的技术。

    规格

    • Yield ≥ 99.5%
    • Uptime ≥ 91%
    • Average Tact Time: ≤17sec (72 cell/module)
    • Capacity: ≥ 4,600 Modules (72 cell/module)
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