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业务领域

业务范围覆盖至以真空蒸镀技术、热技术、物流运输及S/W力量为中心的产业机械设备领域。
致力于通过以高附加价值为中心的有价证券领域、国外市场扩张、技术力量强化,发展成为可提供全球自动化工程解决方案的龙头企业。

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半导体/显示器

半导体/显示器

半导体装备为清洁物流制造工序中专业的高清洁自动化物流设备,
基于粒子控制(Particle Control)及高速&低震设计技术,
可提供满足客户要求配置的最佳Clean Type自动化物流全方位(Total Solution)解决方案。

在显示器领域,韩华通过对最初的显像管(CRT)至PDP、LCD、
OLED持续不间断地研发,正在持续地向全球生产并供应生产设备。
IR CLEAN OVEN设备凭借独创的差别化技术在世界市场占有率排名上稳居第一。

  • 洁净立库(Clean Stocker)(Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    洁净立库(Clean Stocker) (Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    通过半导体洁净物流设备,存储/分类Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette的自动存储系统(Auto Storage System)可呈现符合不同半导体种类要求配置的Chamber Type、Rack Type等各种不同的形态。

    规格

    • 环境清洁等级: Class1~Class1000
    • 速度:1.5m/秒
    • 升/降时间:2.5m/sec2
    • 震动:RMS 0.5 G以下
    • 清洗:平时PN2 Purge构成
    • 环境控制:湿度、温度、压力、氧气浓度
  • Clean Lifter
    Clean Lifter
    是一款半导体清净设备,可将半导体Wafer FOUP&FOSB按照各个层进行运输的自动升降&存储系统(Auto Lift&Storage System)。

    规格

    • 升降行程:最大60mm
    • 升降速度:360m/分
    • 货叉装载时间:3秒以内
    • 升/降时间:2m/ sec2
    • 震动:RMS 0.8G以下
  • AGV(移动机器人)
    AGV(移动机器人)
    为实现制造工序的无人化,基于多元化平台及自主开发管制技术,将AGV(Automated Guided Vehicle)即自动导引运输车商品化。其中,移动机器人(Mobile Robot)由最适用于控制小型货物运输机的行驶装置与协同机器人组成。

    规格

    • 速度:1.0 m/s
    • 驱动轮类型:2种不同的驱动,4轮(可定制)
    • 导航类型:激光反射器、无人驾驶技术(SLAM)、二维码-远景导航
    • 通信:无线局域网(WLAN)
    • 电池:LiFePO4
  • 用于LCD的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    用于LCDIR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    是一款通过远红外线(IR)加热器对LCD基板进行加热、烘干、焙烧的设备。在LCD制造工序中将涂渍溶液(Photo Resist)、配向膜(Polyimid)印刷后,再进行焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。从小型机起到至今的第八代Glass,我们积累了各种经验与成果,为国内外所有的客户供应该款产品。
    具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。
  • 用于OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    是一款通过远红外线(IR)加热器对OLED基板进行加热、烘干、焙烧的装备。在OLED制造工序中焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。
    作为OLED焙烧工序中最优质的装备,在世界市场中占有最大份额。具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。
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