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业务领域

我司依托真空技术、热技术与自动化技术等核心技术，开展二次电池、太阳能、显示器/清洁运输、工厂自动化、机器人技术等项目，
并围绕高附加值项目进一步延伸产品组合、打开国外市场、研发最前沿设备、加强生产及SW实力，从而成为全球综合工序设备及智能方案的领航者。

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半导体/显示器

显示器/清洁物流

显示器/清洁物流 设备是专为清洁制造工序设计的高清洁自动化设备，
采用了粒子控制(Particle control)与高速&低震动设计技术,
根据顾客所需的配置，提供最佳的定制型清洁自动化全方位(Total Solution)方案。

在显示器领域，韩华通过对最初的显像管(CRT)至PDP、LCD、
OLED持续不间断地研发，正在持续地向全球生产并供应生产设备。
IR CLEAN OVEN设备凭借独创的差别化技术在世界市场占有率排名上稳居第一。

  • 用于LCD的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    用于LCD的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    是一款通过远红外线(IR)加热器对LCD基板进行加热、烘干、焙烧的设备。在LCD制造工序中将涂渍溶液(Photo Resist)、配向膜(Polyimid)印刷后，再进行焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。从小型机起到至今的第八代Glass，我们积累了各种经验与成果，为国内外所有的客户供应该款产品。
    具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。
  • 用于OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
    是一款通过远红外线(IR)加热器对OLED基板进行加热、烘干、焙烧的装备。在OLED制造工序中焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。
    作为OLED焙烧工序中最优质的装备，在世界市场中占有最大份额。具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。 而且还可以展现O2浓度控制等最新工序技术潮流。
  • 洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
    洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
    是储存/保管/送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度：级别10~级别1000
    • 有效负载：最大1,000公斤
    • 速度：最大3.5米/秒
    • 货叉加载时间：11秒以内
  • BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System，OCS)
    BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System，OCS)
    是物流设备间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度：级别10~级别1000
    • 有效负载：最大1,000公斤
    • 速度：最大2米/秒
  • 清洁升降机
    清洁升降机
    是楼层间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度：级别10~级别1000
    • 有效负载：最大1,000公斤
    • 速度：最大2米/秒
    • 高度：最大90米
  • 洁净立库(Clean Stocker)(Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    洁净立库(Clean Stocker) (Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    通过半导体洁净物流设备，存储/分类Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette的自动存储系统(Auto Storage System)可呈现符合不同半导体种类要求配置的Chamber Type、Rack Type等各种不同的形态。

    规格

    • 环境清洁等级: Class1~Class1000
    • 速度：1.5m/秒
    • 升/降时间：2.5m/sec2
    • 震动：RMS 0.5 G以下
    • 清洗：平时PN2 Purge构成
    • 环境控制：湿度、温度、压力、氧气浓度
  • Clean Lifter
    Clean Lifter
    是一款半导体清净设备，可将半导体Wafer FOUP&FOSB按照各个层进行运输的自动升降&存储系统(Auto Lift&Storage System)。

    规格

    • 升降行程：最大60mm
    • 升降速度：360m/分
    • 货叉装载时间：3秒以内
    • 升/降时间：2m/ sec2
    • 震动：RMS 0.8G以下
  • AGV(移动机器人)
    AGV(移动机器人)
    为实现制造工序的无人化，基于多元化平台及自主开发管制技术，将AGV(Automated Guided Vehicle)即自动导引运输车商品化。其中，移动机器人(Mobile Robot)由最适用于控制小型货物运输机的行驶装置与协同机器人组成。

    规格

    • 速度：1.0 m/s
    • 驱动轮类型：2种不同的驱动，4轮(可定制)
    • 导航类型：激光反射器、无人驾驶技术(SLAM)、二维码-远景导航
    • 通信：无线局域网(WLAN)
    • 电池：LiFePO4
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