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사업분야

열기술, 자동화기술, 정밀가공기술을 중심으로 한 기계사업을 영위하고 있으며,
사업영역의 지속적인 포트폴리오의 다변화, 기술 내재화를 실현시켜 Global Player로 도약하고 있습니다.

Cell Process Machine

  • Diffusion Furnace(POCL)
    Diffusion Furnace(POCL)
    Diffusion Furnace(POCL) 결정질 Si 태양전지의 핵심인 pn Junction을 형성하기 위해
    p-type(+) Wafer 표면에 p(인)을 Doping하여 n층(-)을 형성하는 장비
    • High Throughput : ≥3,273 wafers/hour
    • Uptime: >95%
    • Cycle Time: 110 min
  • RPCVD(T-AlOx)
    RPCVD(T-AlOx)
    P-N Junction의 분리 및 PSG Layer 제거 후,
    후면에 AlOx 유전체 및 SiNx 보호막을 형성하는 장비
    • High Throughput: ≥3,850 wafers/hour
    • Cycle Time: 38.5min
    • Uptime: >96%
  • PECVD(SiNx)
    PECVD(SiNx)
    Tube type PECVD(SiNx) 결정질 실리콘 Wafer 표면에 태양광의 반사를 막아
    효율을 극대화하는 반사 방지막(Anti-reflect coating)을 형성시키는 장비
    • High Throughput: ≥2,500 wafers/hour
    • Cycle Time: 32 min
    • Uptime: >97%
  • Laser Contact Opening(LCO)
    Laser Contact Opening(LCO)
    후면 막에 구멍을 형성하여 전극과 통전시키는 레이저 장비
    • High Throughput: ≥4,000 wafers/hour
    • Uptime: >97.7%
    • Low Breakage Rate: <0.05%
  • Printer and Dryer
    Printer and Dryer
    Wafer의 격자 식 Circuit lines을 만들어 전/후면에 전극을 Printing 하는 장비
    • High Throughput: ≥4,000 wafers/hour
    • Cycle Time: 1.8sec/pcs
    • Uptime: >96%
  • Firing Furnace
    Firing Furnace
    Screen Printer를 통해 인쇄된 Wafer위의 전극 paste를 급속가열 및 급속냉각 하는 장비
    • High Throughput: ≥4,000 wafers/hour
    • Working Speed: 6,500mm/min
    • Number of Zones: 4 Zone (Drying Zone) + 6 Zone (Firing Zone)
  • Test & Sorter
    Test & Sorter
    Cell의 품질 검사 및 전기적 특성을 측정하여 최종 등급을 판정하는 설비
    • High Throughput: ≥4,000 wafers/hour
    • Test section: Vision Inspection & Alignment, Pattern & Color Inspection, IV Test
    • Low Breakage Rate: <0.1%
  • Cell Process Automation System
    Cell Process Automation System
    • WINS Loading / Unloading System
    • Wet Bench 1 Loading / Unloading System
    • POCL Loading / Unloading System
    • Wet Bench 2 Loading / Unloading System
    • RPCV Loading / Unloading System
    • PECVD Loading / Unloading system
    • Printer Loading / Unloading system
    • Automated Material Handling System
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