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사업분야

진공증착기술, 열기술, 로지스틱스 및 S/W 역량을 중심으로 한 산업기계설비 사업을 영위하고 있으며,
고부가가치 사업 중심의 포트폴리오 확장, 해외시장 확대, 기술역량 강화를 통하여
글로벌 자동화 엔지니어링 솔루션 선도사로 도약하고 있습니다.

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솔라 소개 배경화면

솔라

태양광 셀 공정 장비의 핵심 기술인 진공증착기술을 기반으로 태양광 셀, 모듈 분야의 전문 설비를 제조하고 있으며,
고품질, 고효율의 셀/모듈 제조 설비의 턴키 프로젝트 수행능력을 보유하고 있습니다.

  • PECVD (SiNx)
    PECVD (SiNx)
    결정질 태양전지의 효율을 높이기 위해 wafer 전면에 반사되는 빛을 최소화 시키기 위한 Anti-Reflective SiNx
    층을 형성시키는 장비 입니다.

    Spec

    • High Throughput: 7,600wafer/hr (468 wafers/boat)
    • Cycle Time: 36 min
    • Uptime: 97%
  • T-AlOx (AlOx + SiNx)
    T-AlOx (AlOx + SiNx)
    결정질 태양전지의 효율을 높이기 위해 wafer 후면 재결합율을 개선시키며 wafer 후면에서 투과되는 빛의 최소화
    및 반사를 증가시키는 AlOx와 SiNx 층을 한번의 공정으로 형성시키는 장비 입니다.

    Spec

    • High Throughput: 6,000 wafers/hr (416 wafers/boat)
    • Cycle Time: 41 min
    • Uptime: 97%
  • T-aSi (Oxidation + a-Si)
    T-aSi (Oxidation + a-Si)
    결정질 태양전지의 wafer 후면 접촉부의 재결합율을 개선시켜 전자의 선택적인 포집을 가능케 하는 Oxide 층과
    도핑된 Si 층을 한번의 공정으로 형성하여 태양전지의 효율을 증대시키는 장비 입니다.

    Spec

    • High Throughput: 5,800 wafers/hr (468 wafers/boat)
    • Cycle Time: 48 min
    • Uptime: 97%
  • Diffusion Furnace (LP)
    Diffusion Furnace (LP)
    결정질 실리콘 태양전지의 핵심인 pn접합을 형성하기 위한 장비이며 동일한 플랫폼을 기반으로 P(인) 도핑 및
    B(붕소) 도핑 공정을 구현 합니다.

    Spec

    POCl₃
    • High Throughput: 7,636 wafer/hr
    • Cycle Time: 110 min
    • Uptime: 98%
    BBr₃
    • High Throughput: 3,500 wafer/hr
    • Cycle Time: 240 min
    • Uptime: 98%
  • Oxidation Furnace (LP)
    Oxidation Furnace (LP)
    Edge isolation 및 PSG 제거 후, 실리콘 웨이퍼 상면에 passivation막을 형성하여 셀효율 향상을 도모하는 장비
    입니다.

    Spec

    • High Throughput: 16,800 wafer/hr
    • Cycle Time: 50 min
    • Uptime: 99%
  • 자동 태빙 머신 (Automatic Tabbing Machine)
    자동 태빙 머신 (Automatic Tabbing Machine)
    전자동 고속 태빙 머신으로 시간당 최대 3,600cell까지 생산 가능, IR Lamp Type의 솔더링 방식을 채용하여
    셀 파손율을 낮춘 것이 특징이며, 다양한 규격의 Cell을 적용한 모듈 생산 라인에 유연하게 대응 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Throughput : 3,600cell/hr
    • Breakage Rate of Cells ≤ 0.3%
    • Equipment Operational Rate ≥ 95%
    • Cell Spec : Available 5”, 6” Cell, 3,4,6 and multi bus bar
    • Cells Interval Between Strings : 0~5mm Adjustable
    • String of 8 to 12cells
    • IR Lamp Type Soldering
    • Equipment Size(mm) : 7,500L x 2,000W x 2,560H
  • 라미네이터 (Laminator) 라미네이터 (Laminator)
    라미네이터 (Laminator)
    Solar Module을 구성하는 Glass, EV sheet, Solar cell, EV sheet, Back Sheet & Glass Layer를 진공 압력과
    열처리 과정을 통해 안정화 시키는 장비입니다.

    Spec

    • 저비용, 고효율 생산성 (3 & 4step Laminator)
    • Yield ≥ 99.8%
    • Uptime ≥ 98%
    • M10 120/132/144/156HC
    • M12 110/120/150/160HC
  • Automation
    Automation
    인원, 공간을 효율적으로 활용하여 생산성을 극대화하는 시스템으로써, 자동과 수동의 작업성을 경제적으로
    반영한 Semi-Auto 방식과 대부분의 공정을 자동화한 Full-auto 방식의 기술을 보유한 장비입니다.

    Spec

    • Yield ≥ 99.5%
    • Uptime ≥ 91%
    • Average Tact Time: ≤17sec (72 cell/module)
    • Capacity: ≥ 4,600 Modules (72 cell/module)
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