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사업분야

진공증착기술, 열기술, 로지스틱스 및 S/W 역량을 중심으로 한 산업기계설비 사업을 영위하고 있으며,
고부가가치 사업 중심의 포트폴리오 확장, 해외시장 확대, 기술역량 강화를 통하여
글로벌 자동화 엔지니어링 솔루션 선도사로 도약하고 있습니다.

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반도체/디스플레이 소개 배경화면

반도체/디스플레이

반도체 장비는 클린 물류 제조 공정에 특화된 고청정 자동화 물류 설비로,
Particle control 및 고속&저진동 설계 기술을 고객 요구 사양에 최적화된
Clean Type 자동화 물류 Total Solution 제공하고 있습니다.

디스플레이 초창기 브라운관(CRT)부터 PDP, LCD 그리고 OLED에 이르기까지
끊임 없는 연구개발을 통해 지속적으로 생산 장비를 제작/납품 하고 있습니다.
IR CLEAN OVEN 장비는 차별화된 기술력으로 세계 1위 시장 점유율을 유지하고 있습니다.

  • Clean Stocker (Wafer FOUP & FOSB & POD & Cassette)
    Clean Stocker (Wafer FOUP & FOSB & POD & Cassette)
    반도체 클린 물류 설비로 Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette를 저장/분류 하는 Auto Storage System으로
    반도체 공정별 요구 사양에 맞는 Chamber Type, Rack Type 등 다양한 형태로 구현 가능합니다.

    Spec

    • Environment Cleanness: Class1 ~ Class1000
    • Velocity: 1.5m/sec
    • Acc/Dec: 2.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.5 G 이하
    • Purge: 상시 PN2 Purge 구성
    • Environment Control: Humidity, Temperature, Pressure, oxygen concentration
  • Clean Lifter
    Clean Lifter
    반도체 클린 물류 설비로 반도체 Wafer FOUP & FOSB을 각 층별로 이송하는
    Auto Lift & Storage System 입니다.

    Spec

    • Lifting Stroke: Max 60m
    • Lift Velocity: 360m/min
    • Fork Loading Time: 3sec 이내
    • Acc/Dec: 2m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G 이하
  • AGV(Mobile Robot)
    AGV(Mobile Robot)
    제조 공정의 무인화를 위한 다양한 Platform 및 자체 개발 관제 기술을 바탕으로 AGV (Automated Guided
    Vehicle)를 상품화 하였고, 그 중 Mobile Robot은 소형 반송물 Handling에 최적화된 주행부와 협동로봇으로
    구성되어 있습니다.

    Spec

    • Speed: 1.0 m/s
    • Drive Wheel Type: 2 Differential Drive, 4 Caster (Customizing)
    • Navigation Type: Laser-Reflector, 자율주행 기술 (SLAM), QR Code-Vision Guide
    • Communication: Wireless LAN
    • Battery: LiFePO4
  • LCD용 IR CLEAN OVEN
    LCDIR CLEAN OVEN
    원적외선(IR) Heater로 LCD 기판을 가열, 건조, 소성하는 장비로서, LCD 제조공정에서 감광액(Photo Resist),
    배향막(Polyimid) 등을 인쇄한 후 소성과 세정 후 건조를 목적으로 사용되는 Oven입니다. 소형세대부터 8세대
    Glass까지의 다양한 경험과 실적을 보유하고 있으며 국내외 모든 고객에게 납품하고 있습니다.
    뛰어난 성능의 IR Heater와 급배기 시스템의 적용으로 고정도의 온도제어와 탁월한 Out Gasing의 구현이
    가능하며, 높은 청정도(Class 10), 유지 보수성, 작은 설치장소, 낮은 운영비 등이 장점인 장비입니다.
  • OLED용 IR CLEAN OVEN
    OLEDIR CLEAN OVEN
    원적외선(IR) Heater로 OLED 기판을 가열, 건조, 소성하는 장비로서, OLED 제조공정에서 소성과 세정 후 건조를
    목적으로 사용되는 Oven입니다.
    OLED 소성공정에 최적의 장비로서 세계 시장점유율 1위인 장비입니다. 뛰어난 성능의 IR Heater와 급배기
    시스템의 적용으로 고정도의 온도제어와 탁월한 Out Gasing의 구현이 가능하며, 높은 청정도(Class 10),
    유지 보수성, 작은 설치장소, 낮은 운영비 등이 장점인 장비입니다.
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